截至9:46，上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)上漲0.71%，成分股天岳先進上漲5.71%，和林微納上漲3.75%，華興源創(chuàng)上漲1.83%，艾森股份上漲1.56%，明志科技上漲1.33%?？苿?chuàng)半導體ETF（588170）上漲0.71%，最新價報1.14元。

從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導體ETF近5天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得4155.78萬元凈流入，合計“吸金”1.09億元，日均凈流入達2188.34萬元。

相關(guān)ETF：公開信息顯示，科創(chuàng)半導體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中半導體設(shè)備（59%）和半導體材料（25%）細分領(lǐng)域的硬科技公司。半導體設(shè)備和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導體設(shè)備（59%）、半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。