每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：您好，請(qǐng)問(wèn)krf光刻膠是否已經(jīng)進(jìn)入了量產(chǎn)，客戶(hù)通過(guò)驗(yàn)證了沒(méi)有？另外，arf光刻機(jī)是否21年就已經(jīng)購(gòu)入？目前研發(fā)進(jìn)展如何？有沒(méi)有缺陷檢測(cè)儀等相關(guān)設(shè)備？今年arf是否可以投入認(rèn)證？

晶瑞電材（300655.SZ）3月13日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司子公司瑞紅（蘇州）電子化學(xué)品股份有限公司共擁有以5臺(tái)光刻機(jī)為核心的光刻膠研發(fā)測(cè)試平臺(tái)，覆蓋紫外寬譜、g線、i線、KrF及ArF光刻膠檢測(cè)，可為公司產(chǎn)品研發(fā)測(cè)試、客戶(hù)驗(yàn)證等提供全面的核心設(shè)備保障。公司KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)；ArF高端光刻膠研發(fā)工作已啟動(dòng)。關(guān)于公司產(chǎn)品研發(fā)和客戶(hù)認(rèn)證進(jìn)展，請(qǐng)關(guān)注公司定期報(bào)告等公告。

(記者 陳鵬程)

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